【科技前沿】比亚迪50亿收购晶圆厂!附晶圆制造全流程视频!

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什么是晶圆?

台积电晶圆制造全流程视频

8月24日消息,据产业链人士消息透露,比亚迪半导体近日斥资50亿元在山东济南购得一家崭新的晶圆厂——济南富能半导体。并且豪威科技也参与了济南富能项目的收购案竞争,但济南政府更偏好比亚迪半导体能带来的多元化产业资源,于是豪威落选。

济南富能功率半导体项目是山东省及济南市重点扶持项目,规划总占地面积630亩,包括两个8英寸厂和两个12英寸厂,该项目分为三期建设,第一期已投入60亿人民币。

据济南富能官方消息,公司拥有多名熟悉功率半导体芯片设计制程研发和可靠性验证等技术专家,平均年资超过20年,其中有60名韩籍和美籍技术专家,50名陆籍、台籍研发和工厂管理专家。

目前,比亚迪IGBT芯片晶圆的产能已经达到5万片/月,预计2021年底可达到10万片/月。收购济南富能后,比亚迪相关产能还将继续扩大,其晶圆制造的产品线也有望从IGBT拓展至其他领域。

直拉法晶体生长

高纯度的多晶硅放在石英坩埚中,并用外面围绕着的石墨加热器不断加热,使多晶硅熔化,坩埚带着多晶硅熔化物在旋转,把一颗籽晶浸入其中,并且由拉制棒带着籽晶作反方向旋转,同时慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。

晶体修整和外圆磨削晶棒将按适当的尺寸进行切割,然后进行研磨,将凹凸的切痕磨掉

晶圆切片

晶圆磨边

质量控制

晶圆减薄抛光

清洗、检查、包装

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